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PHASICS

SID4 UV HR

Phasics의 특허 기술을 기반으로 하는 SID4 UV HR 파면 센서는 190nm에서 400nm까지의 자외선 스펙트럼에서 타의 추종을 불허하는 고해상도(355 x 280 측정 지점)와 매우 높은 감도(1nm RMS)를 모두 제공합니다. 따라서 SID4 UV HR은 광학 부품 특성화(리소그래피, 반도체 등에 사용됨) 및 표면 검사(렌즈 및 웨이퍼 등)에 완벽하게 적합합니다.

제품문의
  • Features
    • Sensitive down to 190 nm
    • High sensitivity – 1 nm RMS
    • Very high resolution (355 x 280 sampling)
  • Specifications
    Wavelength range190 - 400 nm
    Aperture dimension13.84 x 10.88 mm²
    Spatial resolution38.88 µm
    Phase and intensity sampling355 x 280
    Resolution (Phase)1 nm RMS
    Accuracy (Absolute)10 nm RMS
    Acquisition rate30 fps
    Real-time processing frequency*3 fps (full resolution)*
    InterfaceCamera Link
    Dimensions (WxHxL)78 x 88.1 x 70.8 mm³
    Weight~575g


    *with SID4 software
  • Options / Accessories


  • Applications
    • Laser testing, adaptive optics, and plasma diagnostics 
    • Optics metrology and optical system alignment
  • Product Literature
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