COAXIAL
AMN-10-30K
모든 AMN-R 자동 임피던스 매칭 네트워크는 고속 튜닝과 사용자 편의를 염두에두고 설계되었습니다.
AMN-R은 공정 중 부하 특성의 변화에 대응하여 입력 임피던스를 빠르고 정확하고 안정적으로 조정합니다.
AMN-R의 입력에서 위상 및 크기 검출기가 커패시터의 위치를 결정합니다. 이 정보는 AMNC (포함됨)라고도하는 별도의 '자동 일치 네트워크 컨트롤러'로 전송됩니다. 그런 다음 컨트롤러는 서보 모터를 위치로 구동하여 0 또는 최소 반사 전력을 제공합니다.
-
Automatic Matching Network
Main features- Robust analogue design.
- Water-cooled
- Rack-mount controller as standard (included)
- Compact: 536mm(D) x 555mm(W) x 220mm(H) – 18kg (higher values will be larger)
- Phase and Magnitude detector provides continuous corrections for process drift.
- Sensing network measures bias voltage.
- Frequency options range between 2MHz – 27.12MHz.
Functions
Via included matching network controller:- Displays the current position of the capacitors on the VFD display.
- Parks the capacitors in a predetermined ‘base’ position when RF is inactive.
- Allows the base position to be adjusted / preset.
- Allows the base positions to be set by external equipment (Useful for automated processes).
- Allows the current positions to be read by external equipment.
- Buffer for bias voltage.
- Configurable polarity on Phase and Magnitude detector inputs.
- Configurable tuning span, defaults to 180 degrees for air and gas type capacitors
-
Please refer to the datasheet.
-
-