COAXIAL
RFG 5K-AC
RFG 5K-AC (5kW / 5000 WATT) RF 발생기는 과학 및 산업 응용 분야 모두를위한 정밀 장치입니다. 최신 스위치 모드와 솔리드 스테이트 설계 기술을 사용하는 견고한 구조는 열악한 환경에서도 긴 수명을 보장합니다.
장치의 크기가 작기 때문에 랙 공간이 제한된 곳에서 사용하기에 이상적입니다.
발전기는 수동 또는 자동 임피던스 매칭 네트워크와 함께 사용하는 것이 좋습니다. 두 유형 모두 Coaxial Power Systems Ltd에서 구입할 수 있습니다. 이 장치는 공랭식 (AC)이지만 필요한 경우 수냉식 장치 (WC)로도 공급할 수 있습니다. 수냉식 모델에 대한 모든 추가 정보는 별도의 설명서를 참조하십시오.
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AIR COOLED: (water cooled optional)- Model RFG 5K-2-AC (5kW / 5000 Watts)
- Model RFG 5K-13-AC (5kW / 5000 Watts)
- Model RFG 5K-27-AC (5kW / 5000 Watts)
- Efficient Class-E design
- Rack-mount design as standard.
- 380-415 VAC (3 phase) – As standard
- 208 VAC (3 phase) – Optional
- 480 VAC (3 phase) – Optional
- Full-rack, 7U (310mm) high
- Analog and RS-232 interfaces available.
- External control of output voltage. (Useful in sputter coating applications).
- Feedback control system ensures that the set output power remains constant and repeatable.
- Internally calibrated power measurements for high accuracy throughout the power range.
- Microprocessor display of incident (forward) power, reflected power and unit status
- Precision power control fully adjustable between 0-100%.
- Fast pulse operation from TTL/CMOS input.
- 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz frequencies available as standard.
The output power of each generator is fully adjustable between zero and maximum power. The feedback control system
ensures that the set output power remains constant and repeatable. Incident (forward) and reflected power measurements
are internally calibrated to give high accuracy throughout the power range.
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Please refer to the datasheet.
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- An external voltage of 0 to 5Volts can be used to control the output. This is particularly useful in sputter coating applications where the DC voltage developed across the plasma dark space can be controlled rather than the RF power.
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RFG 5K DATASHEET